JTEKT Thermosystems представила инновационную печь SO2-60-F для термообработки полупроводников AI и 5G

11 декабря текущего года компания JTEKT Thermosystems, являющаяся частью крупной группы JTEKT, представила новую разработку – высокотехнологичное устройство для термообработки корпусов современных полупроводников под индексом SO2-60-F. Специалисты японской компании хорошо известны своим опытом в области создания оборудования для термообработки массовой полупроводниковой продукции, однако новый аппарат отличается ориентацией на актуальные задачи микроэлектроники. В частности, речь идет о термообработке промежуточных элементов RDL и стеклянных подложек, которые лежат в основе решений для систем искусственного интеллекта и сетей пятого поколения.

Группа JTEKT нацелена к 2030 году стать флагманским поставщиком технологий для будущего мобильного общества, непрерывно совершенствуя производственные процессы и внедряя новейшие решения. Компания следует миссии объединять передовые инженерные подходы и материалы, принося пользу обществу и повышая уровень жизни сотрудников по всему миру. В рамках такой стратегии JTEKT фокусируется не только на развитии уже освоенных технологий, но и активно осваивает новые направления, предвосхищая запросы рынка.

В сегменте полупроводников JTEKT Thermosystems предлагает целый спектр решений, разрабатывая и поставляя современное оборудование для высокоточной термообработки, в том числе с применением уникальных технологий управления температурой. История развития компании ведет отсчет с 1958 года, когда JTEKT занялась выпуском термических установок для подшипников, а уже к 1968 году был организован специализированный отдел для работы с полупроводниками. Применяя новаторские методы переноса и обработки крупных подложек, ранее используемых для производств ЖК-дисплеев, компания внесла вклад и в создание оборудования для форм-фактора AI, RDL-компонентов 5G и стеклянных вкладышей.

Новая установка SO2-60-F унаследовала все сильные стороны предшествующих моделей: высокую степень закрытости процессов, точное управление кислородной средой, а также выдающееся качество распределения температуры по обрабатываемой поверхности. Устройство рассчитано на транспортировку и обработку больших подложек – поддерживаемые форматы составляют 510×515 мм и 600×600 мм.

В ближайшей перспективе JTEKT Thermosystems планирует расширить поставки системы SO2-60-F для нужд производителей полупроводников, работающих в сегментах искусственного интеллекта и 5G, а также вывести на рынок оборудование под форматы диаметром 300 мм и квадратом 310 мм. Вся группа компаний объединит усилия для дальнейшего развития технологических решений, способствуя прогрессу мировой индустрии микроэлектроники и будущего мобильности. Наталья Плотникова