HORIBA Estec представила вакуумметр VG-500S: сенсор для полупроводников выдержит до 200°C

Компания HORIBA Estec, входящая в состав группы HORIBA и специализирующаяся на производстве оборудования для полупроводников, анонсировала выпуск новой модели мембранного вакуумметра — емкостного манометра VG-500S. Официальная презентация новинки состоится 17 декабря, а познакомиться с устройством можно будет и на выставке SEMICON Japan 2025.

Современное производство полупроводников стремительно развивается, в том числе за счёт миниатюризации элементов и внедрения трёхмерных структур. Повышенная сложность процессов требует максимально точного и стабильного контроля на всех этапах — ведь даже малейший сбой может отразиться на качестве конечного продукта. Особенно важна высокая точность измерения давления во время процессов травления и осаждения; ведь наряду с контролем подачи газа в рабочие камеры поддержание нужного уровня вакуума напрямую связано с повышением производительности и увеличением выхода годных изделий.

Компания HORIBA Estec ответила на вызовы рынка созданием вакуумметра VG-500S, который способен обеспечивать высокоточные результаты даже в условиях, когда температура внутри оборудования достигает 100–200 градусов. Благодаря внедрённому запатентованному алгоритму время отклика устройства увеличено в четыре раза по сравнению с обычными манометрами, что способствует бесперебойной работе ключевых технологических процессов и минимизации производственных потерь.

Стоит отметить, что с каждым годом растёт разнообразие применяемых в отрасли газовых смесей, из-за чего становится всё важнее обеспечить не только поддержание необходимого вакуума, но и исключить риски поступления в камеры нежелательных примесей. При обработке материалов с низкими давлениями паров требуется поддерживать постоянную температуру — в противном случае возможно конденсирование или разложение газов. Новое устройство от HORIBA Estec позволяет гибко выставить требуемую температуру сенсорного блока в пределах 100–200°C с учётом особенностей оборудования клиента, что значительно уменьшает вероятность оседания конденсата или возникновения пиролиза.

В манометре VG-500S сочетаются уникальный рабочий алгоритм, высокопрочная мембрана из нержавеющей стали и гибкая настройка температурного режима — всё это обеспечивает стабильно точные измерения в самых сложных производственных условиях. Успех модели развивает достижения линейки VG, впервые прославившейся с выходом на рынок манометра VG-200 ещё в 2015 году. HORIBA Estec продолжает следовать стратегии усиления глобального присутствия, расширяя ассортимент и отвечая на возрастающие требования рынков Японии и других стран.

Новый VG-500S будет представлен широкой публике на выставке SEMICON Japan 2025, которая пройдёт 17–19 декабря в центре Tokyo Big Sight. Павел Афанасьев